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ICP-MS是近幾十年發展非?？斓臒o機超痕量分析儀器，它能一次完成從10^-12~10^-3的幾十種元素的分析，并能同時檢測同位素，是目前元素分析中靈敏度高、檢測限低的方法之一。在同位素和元素形態分析方面也顯示出其重要的作用，成為非常具有沖擊力的分析技術之一：

1、可測定的元素面寬，可達80余個元素。

2、多元素同時測定，包括同位素分析，有機物中金屬元素的形態分析。

3、靈敏度高，檢出限低?？梢詼y量ppb以及ppb以下濃度的微量元素。

4、選擇性好，譜線干擾少。

5、動態線性范圍寬：可優于9個數量級

6、在大氣壓下進樣，便于與其他進樣進行技術聯用

7、可進行多元素同時快速分析，可使用同位素稀釋法與多種分離技術及進樣方法相結合，能適應于復雜體系的痕量或超痕量元素分析。

ICP MS與生俱來的特點，加之操作相對簡便、效率高、樣品適應性強、成熟穩定、測試標準和方法覆蓋面廣、成本低、等等，得到了第三方實驗室的認可，已經成為其不可或缺的主力儀器。