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電感耦合等離子體質譜ICP-MS，是20世紀80年代發展起來的新的分析測試技術。它的接口技術將ICP-MS的高溫（7000K）電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種新型的元素和同位素分析技術，可分析幾乎地球上所有元素。ICP-MS技術的分析能力不僅可以取代傳統的無機分析技術如電感耦合等離子體光譜技術、石墨爐原子吸收進行定性、半定量、定量分析及同位素比值的準確測量等。還可以與其他技術如HPLC、HPCE、GC聯用進行元素的形態、分布特性等的分析。隨著這項技術的迅速發展，現已被廣泛地應用于環境、半導體、醫學、生物、冶金、石油、核材料分析等領域。做為科技進步的主要推動力量，大學和科研機構，在ICP MS技術的應用開發和普及推廣上，扮演者不可取代的角色。