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微量、痕量元素會嚴重影響鋼鐵等金屬材料的各種性能，需進行嚴格控制和準確檢測。金屬材料成分極其復雜，使得探索痕量元素的分析方法。ICP MS分析技術，以其測試范圍寬、干擾機理相對明確、測試快速、準確等特點，在金屬成份測試方面，得到了快速普及。大量與之相關的測試方法與標準，也在源源不斷的推出。